原子力显微镜 - 精密仪器 - 江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司

EM-AFM

EM-AFM纳米操作系统提供了在SEM电镜中原子力显微镜成像和定量测量纳米力的能力。它使得SEM和AFM这两种技术结合，提供了高速高分辨率的3D形貌成像，以及微纳米和亚纳米尺度纳牛力相互作用的实时观测。

产品特性

·同步AFM和SEM成像

·完全兼容市面上的主流SEM电镜

·超高分辨率形貌扫描

·通过纳米压痕定量测量纳米力

·真空载锁兼容

·操作稳定性高，不受SEM电子束干扰

应用案例

规格参数

SEM-AFM 图像融合

SEM成像具有高横向分辨率和扫描速率的优势，结合AFM成像提供的三维形貌信息，可获取新的而又全面的信息。

亚纳米成像分辨率

全闭环编码系统确保在没有图像失真的情况下获得高形貌成像分辨率，同时获取亚纳米成像分辨率。

纳米压痕和拉伸测试

样品的纳米力学性能可以在该仪器中通过纳米压痕和纳米拉伸试验技术进行测量。在SEM电镜成像下，可实时观测压痕和拉伸过程。专用软件提供了内置的计算工具，用于分析和显示获取的测量数据。

高真空环境/SEM兼容

结构紧凑的AFM兼容市面上大部分的SEM和FIB，并能够在数秒内完成安装和拆卸。系统允许很小的工作范围（5mm），同时兼容标准的SEM分析技术（如EDS、EBSD、WSD）。

SEM-AFM 图像融合
SEM成像具有高横向分辨率和扫描速率的优势，结合AFM成像提供的三维形貌信息，可获取新的而又全面的信息。

亚纳米成像分辨率
全闭环编码系统确保在没有图像失真的情况下获得高形貌成像分辨率，同时获取亚纳米成像分辨率。

纳米压痕和拉伸测试
样品的纳米力学性能可以在该仪器中通过纳米压痕和纳米拉伸试验技术进行测量。在SEM电镜成像下，可实时观测压痕和拉伸过程。专用软件提供了内置的计算工具，用于分析和显示获取的测量数据。

高真空环境/SEM兼容
结构紧凑的AFM兼容市面上大部分的SEM和FIB，并能够在数秒内完成安装和拆卸。系统允许很小的工作范围（5mm），同时兼容标准的SEM分析技术（如EDS、EBSD、WSD）。