| 产品特性 | 各工艺参数一体化控制，操作简便 |
| 设备将操作控制集成一体化，整体结构紧凑 | |
| 单层薄膜厚度300μm-20μm | |
| 薄膜均匀性优于10% | |
| 材料粘附力强，优于4B（具体根据材料确定） | |
| 可选配多种超声喷头 | |
| 精密三轴伺服运动，运动精度优于0.05mm | |
| 精密激光对位系统，完成快速位置标定 | |
| 配置精密恒流供料系统以及微气流控制系统 | |
| 配置精密加热台，可实现在线吸附、在线烧结 | |
| 配置真空吸附台，可满足柔性基底使用需求 | |
| 自带喷涂腔体环境监控及优化功能 |
| 应用参数 | 方阻50Qcm/sq情况下，涂层透光率在82%以上 | 光刻胶（RZJ-304）双层平均厚度15um，图层均匀性13.2% |
| 产品特性 | 各工艺参数一体化控制，操作简便 |
| 设备将操作控制集成一体化，整体结构紧凑 | |
| 单层薄膜厚度300μm-20μm | |
| 薄膜均匀性优于10% | |
| 材料粘附力强，优于4B（具体根据材料确定） | |
| 可选配多种超声喷头 | |
| 精密三轴伺服运动，运动精度优于0.05mm | |
| 精密激光对位系统，完成快速位置标定 | |
| 配置精密恒流供料系统以及微气流控制系统 | |
| 配置精密加热台，可实现在线吸附、在线烧结 | |
| 配置真空吸附台，可满足柔性基底使用需求 | |
| 自带喷涂腔体环境监控及优化功能 |
| 应用参数 | 方阻50Qcm/sq，情况下，涂层透光率在82%以上。 | 光刻胶（RZJ-304）双层平均厚度15um，图层均匀性13.2% |
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