自动显微镜 - 微纳增材 - 江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司

自动显微镜

本款自动显微镜主要应用于半导体、3C行业。通过XY轴精密定位平台的精准定位、Z轴的自动对焦，使元器件清晰地呈现在相机视野范围内，并利用自主研发多功能软件对其进行观测。

产品特性

· 行程范围：50mm×50mm运动精度：6um定位精度：10um重复定位精度：±5um驱动方式：步进电机（含编码器）

· 扫描拼接：当样品超过视野范围以外的情况时，可通过扫描样品的局部区域，并进行拼接，从而扩大视野范围。

· 重复定位：在观察样品时，有时会不清楚看到的是哪个部位，可在画面上点击，移动至正在观测的位置，不会在观测时感到迷惑。

· 深度合成：轻松点击按键，瞬间获得由不同焦点的图像合成的完全对焦图像，可以进行深度信息的测量。

产品详情

技术参数

行程范围	50mmX50mm
运动精度	6μm
定位精度	10μm
重复定位精度	±5μm
运动方式	滚珠丝杠
驱动方式	步进电机（含编码器）

软件特点

扫描拼接	当样品超过视野范围以外的情况时，可通过扫描样品的各局部区域，并进行拼接，从而扩大视野范围。
重复定位	在观察样品时，有时会不清楚看到的是哪个部位，可在画面上点击，移动至正在观测的位置，不会在观测时感到迷惑。
一键对焦	当样品的观测位置处于不对焦状态时，只需点击按键，轻松实现全幅对焦状态。
实时观测	通过简单的鼠标操作，可在画面上进行实时测量，例如距离、面积等。

技术参数

行程范围	50mmX50mm
运动精度	6μm
定位精度	10μm
重复定位精度	±5μm
运动方式	滚珠丝杠
驱动方式	步进电机（含编码器）

软件特点

扫描拼接：当样品超过视野范围以外的情况时，可通过扫描样品的各局部区域，并进行拼接，从而扩大视野范围。

重复定位：在观察样品时，有时会不清楚看到的是哪个部位，可在画面上点击，移动至正在观测的位置，不会在观测时感到迷惑。

一键对焦：当样品的观测位置处于不对焦状态时，只需点击按键，轻松实现全幅对焦状态。

实时观测：通过简单的鼠标操作，可在画面上进行实时测量，例如距离、面积等。