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设备名称:扫描电子显微镜
设备型号:Hitachi SU5000
主要技术指标:
SE探头分辨率:7.0nm @ 3KV;BSE探头分辨率:10.0nm @ 5KV;样品仓内径=320mm;样品台尺寸:装载直径=200mm样品
数量:1套