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集成电路

Integrated Circuit

集成电路项目

基于集成电路设计、微纳操控、微纳测量、精密定位等核心技术,致力于集成电路晶圆检测,集成电路芯片缺陷探测、集成电路新型工艺,以及国家重大需求项目等高端装备开发。

项目团队具有如下关键共性技术:
 
1、高端MEMS加速度计专用伺服芯片技术
 
1)模拟闭环控制的ASIC伺服芯片;
2)数字闭环控制的ASIC伺服芯片;
3)数据抽取与滤波DSP芯片;

 
2、地磁勘探ASIC芯片技术
 
1)低噪声前置放大器、低噪声C-V读出电路技术;
2)高精度A/D、D/A芯片(24位)芯片设计开发技术

 
3、精密定位、微纳操控与微纳检测技术
 
为了探测地球深部的石油、天然气和矿产资源,需要先进的万道至百万道的地震勘探系统。
1)纳米尺度定位技术;
2)微米和纳米尺度运动控制技术;
3)微米和亚米尺度检测技术;

项目技术/产品应用:
 
1)MEMS加速度传感器闭环控制伺服ASIC芯片设计等
2)星空地磁勘探,地球物理地质勘探等应用;
3)半导体晶圆检测、芯片缺陷检测等