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精密仪器

Precision Instrument

 
纳米操作系统:LF-2000

TNI LF-2000是目前市面上基于SEM电镜下使用的自动化程度较高的纳米操作系统,也是一种能够在SEM电镜下提供可重复定位、低漂移、闭环运动控制定位的纳米操作系统。


产品特性

·  完全兼容主流电镜,不影响电镜功能;
·  市面上较佳的运动定位性能:大行程、亚纳米分辨率;
·  位移传感器集成自动化和可编程运动;
·  SEM真空环境优化设计,可快速安装与拆卸;

应用案例

主要软件功能

规格参数

    力学测试

LifeForce为纳米材料的力学特性提供高分辨率的力和位移反馈,实例照片展示的是用球端AFM悬臂探针对硅纳米线簇进行纳米压痕,以及对单根纳米线的拉伸测试。

 

 

电学特征

LifeForce为纳米材料提供可靠、低噪音的电测量,以及与纳米结构的原位相互连接。实例照片展示的是四探针测量纳米线电学性能。

 

 

 

拾取和放置操作
 
使用末端工具(例如:探针、微纳米夹持器、超声切割针),操作者能够操作LifeForce纳米操作手在SEM电镜内对微纳米物体进行推、拉和抓取等操作。

 

 

制作微纳米器件

精密的操作手运动能够实现微纳米器件的快速成型和后处理。实例照片展示的是纳米线FET传感器的构造。

 

 

纳米电子器件电学测量
 
LifeForce纳米操作机是是市面上能够自动探测电子结构(范围从亚微米,亚100nm及亚20nm)。只需要通过计算机点击鼠标,将探测针定位到目标位置。较低的定位漂移,保证数据采集的可靠性。
 

 

力学测试
LifeForce为纳米材料的力学特性提供高分辨率的力和位移反馈,实例照片展示的是用球端AFM悬臂探针对硅纳米线簇进行纳米压痕,以及对单根纳米线的拉伸测试。

 
电学特征

LifeForce为纳米材料提供可靠、低噪音的电测量,以及与纳米结构的原位相互连接。实例照片展示的是四探针测量纳米线电学性能。

 
拾取和放置操作
使用末端工具(例如:探针、微纳米夹持器、超声切割针),操作者能够操作LifeForce纳米操作手在SEM电镜内对微纳米物体进行推、拉和抓取等操作。

 
制作微纳米器件

精密的操作手运动能够实现微纳米器件的快速成型和后处理。实例照片展示的是纳米线
FET传感器的构造。

 

 

 

 

纳米电子器件电学测量
LifeForce纳米操作机是是市面上能够自动探测电子结构(范围从亚微米,亚100nm及亚20nm)。只需要通过计算机点击鼠标,将探测针定位到目标位置。较低的定位漂移,保证数据采集的可靠性。
 
 

 

位置反馈    提供每个操作手XYZ准确的位置反馈,1纳米运动定位分辨率。
保存/加载坐标    保存和加载多个操作手的坐标。
自动校准    较大限度地提高定位性能,并将操作手运动轴对准扫描电子显微镜图像轴。
3D虚拟显示    实时3D虚拟空间显示操作手(粉红色方块)和样品(绿色平面)的位置。
点击-移动    通过在屏幕上鼠标点击控制操作手运动。
多操作手联动    连接多个操作手的运动,具有纳米级精度。
图片-视频录制    保存操作过程中的高清图片和视频。

 

系统概况 系统尺寸 127X127X33 mm³*
机械手数量 1-4
操作手(宏动) 驱动原理 粘华驱动
运动范围 XY轴:10mm z轴:5mm
最大速度 >3mm/s
最小步长 <100nm
操作手(微动) 驱动原理 无摩擦柔性铰链
运动范围 XYZ轴:20μm
最大速度 >45μm/s
开环运动分辨率 0.5nm
闭环运动分辨率 1nm
定位漂移率 <0.35nm/min
软件功能** 点击-移动 鼠标在电脑屏幕上从A移动到B
自适应放大倍数 定位器移动速度根据SEM放大自动调整
操作手位置保存/加载 用户定义的“保存/加载”操作手坐标
3D虚拟显示 实时三维显示操作手的位置和运动
自动校准 操作收闭环传感器自动校准
运动轴的自动对准 所有操作手运动轴自动对准SEM图像轴
*系统尺寸可根据需要减小到50X50X17mm3
*可根据选定SEM/FIB的型号而定