纳米操作系统:LF-2000
TNI LF-2000是目前市面上基于SEM电镜下使用的自动化程度较高的纳米操作系统,也是一种能够在SEM电镜下提供可重复定位、低漂移、闭环运动控制定位的纳米操作系统。
产品特性
· 完全兼容主流电镜,不影响电镜功能;
· 市面上较佳的运动定位性能:大行程、亚纳米分辨率;
· 位移传感器集成自动化和可编程运动;
· SEM真空环境优化设计,可快速安装与拆卸;
应用案例
主要软件功能
规格参数
力学测试
LifeForce为纳米材料的力学特性提供高分辨率的力和位移反馈,实例照片展示的是用球端AFM悬臂探针对硅纳米线簇进行纳米压痕,以及对单根纳米线的拉伸测试。 |
电学特征 LifeForce为纳米材料提供可靠、低噪音的电测量,以及与纳米结构的原位相互连接。实例照片展示的是四探针测量纳米线电学性能。 |
拾取和放置操作
使用末端工具(例如:探针、微纳米夹持器、超声切割针),操作者能够操作LifeForce纳米操作手在SEM电镜内对微纳米物体进行推、拉和抓取等操作。
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制作微纳米器件 精密的操作手运动能够实现微纳米器件的快速成型和后处理。实例照片展示的是纳米线FET传感器的构造。 |
纳米电子器件电学测量
LifeForce纳米操作机是是市面上能够自动探测电子结构(范围从亚微米,亚100nm及亚20nm)。只需要通过计算机点击鼠标,将探测针定位到目标位置。较低的定位漂移,保证数据采集的可靠性。
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LifeForce为纳米材料提供可靠、低噪音的电测量,以及与纳米结构的原位相互连接。实例照片展示的是四探针测量纳米线电学性能。
精密的操作手运动能够实现微纳米器件的快速成型和后处理。实例照片展示的是纳米线
FET传感器的构造。
位置反馈 | 提供每个操作手XYZ准确的位置反馈,1纳米运动定位分辨率。 |
保存/加载坐标 | 保存和加载多个操作手的坐标。 |
自动校准 | 较大限度地提高定位性能,并将操作手运动轴对准扫描电子显微镜图像轴。 |
3D虚拟显示 | 实时3D虚拟空间显示操作手(粉红色方块)和样品(绿色平面)的位置。 |
点击-移动 | 通过在屏幕上鼠标点击控制操作手运动。 |
多操作手联动 | 连接多个操作手的运动,具有纳米级精度。 |
图片-视频录制 | 保存操作过程中的高清图片和视频。 |
系统概况 | 系统尺寸 | 127X127X33 mm³* |
机械手数量 | 1-4 | |
操作手(宏动) | 驱动原理 | 粘华驱动 |
运动范围 | XY轴:10mm z轴:5mm | |
最大速度 | >3mm/s | |
最小步长 | <100nm | |
操作手(微动) | 驱动原理 | 无摩擦柔性铰链 |
运动范围 | XYZ轴:20μm | |
最大速度 | >45μm/s | |
开环运动分辨率 | 0.5nm | |
闭环运动分辨率 | 1nm | |
定位漂移率 | <0.35nm/min | |
软件功能** | 点击-移动 | 鼠标在电脑屏幕上从A移动到B |
自适应放大倍数 | 定位器移动速度根据SEM放大自动调整 | |
操作手位置保存/加载 | 用户定义的“保存/加载”操作手坐标 | |
3D虚拟显示 | 实时三维显示操作手的位置和运动 | |
自动校准 | 操作收闭环传感器自动校准 | |
运动轴的自动对准 | 所有操作手运动轴自动对准SEM图像轴 |